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泰晶科技某高精度光刻配套设备再创佳绩
2021-05-27 07:59:26   来源:    点击:

  泰晶科技最新研制的用于光刻工程的高精度配套设备—全自动晶圆调频及测选机,近日又取得新突破,该设备适用于光刻晶圆频率调整及分测,配合基于半导体技术的光刻制程量产及质量提升。这一设备的研制成功,不仅填补了行业空白,而且保证了关键性技术的保密性,为公司正在进行的大规模扩产提供了更优的方案。

  该设备采用特定的光谱取代原有光源,使用全新的测试线路及测量方式,大幅提高了设备的精度及效率。目前使用设备频率调整精度可达±5PPM,合格率98.5%以上,各项指标达到国际先进水平。拥有自主知识产权的设备研发,使公司具有持续创新能力,经过设备升级,可加工更小型的1毫米系列产品。

  该设备的研发成功不仅极大提高了产品品质及生产效率,而且设备性能优势得到日本同行的高度认可。目前已交付多套给某全球著名同行,得到该全球巨头同行的高度评价。

  早在十一年前,我司领导高瞻远瞩,几乎与全球巨头同步开展半导体光刻工艺在压电晶体行业的研究,同时开始一系列相关装备的自主研制。几十道工序的半导体工艺关键装备,经过近十代设计更新换代,已开始列装生产一线,一系列半导体光刻工艺设备随产品制程工艺同步研发,在高精度、自动化程度上不断升级优化。独有的装备自主研制能力,是我司产品、工艺、技术等多学科高度集成、走在前列的体现,也是泰晶科技迈向全球头部战略的重要保障。

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